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半導(dǎo)體晶圓裝載機(jī)NWL200系列

所屬系列:ZJYQ-HYYQBDT-NIKON

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產(chǎn)品描述
半導(dǎo)體晶圓裝載機(jī)NWL200系列特點:
?半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高可靠性
例如,當(dāng)電源意外中斷時,宏支臂的真空卡盤保持激活狀態(tài),允許安全取出晶圓。
?宏觀檢查功能
支持半導(dǎo)體晶圓前圖案側(cè)、后周邊和中心區(qū)域檢測。可自動或手動設(shè)置晶圓旋轉(zhuǎn)速度和傾斜角度。
?專為大產(chǎn)量而設(shè)計
帶有非接觸式定心機(jī)構(gòu)的快速晶圓盒升降器可使用多支臂系統(tǒng)快速對齊晶圓,以高精度裝載和卸載晶圓。
?人體工程學(xué)設(shè)計理念
NWL200符合人體工程學(xué)設(shè)計,易于操作和控制。
向左轉(zhuǎn)35度時,輕松進(jìn)行晶圓入槽定位和全盒交換。
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