高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡SU7000

所屬系列：ZJYQ-GYXWEM-HITACHI

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產(chǎn)品描述

SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像，而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)。此外，它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多優(yōu)異良能。
SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡，可以滿足客戶的多種觀察需求。
接下來請(qǐng)欣賞SU7000帶來的多彩世界。
*圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖

日本日立高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡SU7000核心理念：
1.采用優(yōu)的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測(cè)器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的更大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
大型樣品觀察
低真空觀察
低溫觀察
實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是一應(yīng)俱全。
4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍，大束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

日本日立高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡SU7000規(guī)格：

項(xiàng)目			內(nèi)容
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.8 nm/15 kV
			0.9 nm/1 kV
放大倍率			20～2,000,000 x
電子槍	發(fā)射體		ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射）
	加速電壓		0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV）
	束流		大200 nA
探測(cè)器	標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器		UD （上探測(cè)器)
			MD （中探測(cè)器）
			LD （下探測(cè)器)
	選配探測(cè)器*1		PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器）
			UVD（高靈敏度低真空探測(cè)器）
低真空模式*1	樣品倉壓力范圍		5～300 Pa
	可使用探測(cè)器		PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺(tái)	馬達(dá)臺(tái)控制		5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
	移動(dòng)范圍	X	0～135 mm
		Y	0～100 mm
		Z（WD）	1.5～40 mm
		T（傾斜角）	-5～70°
		R（旋轉(zhuǎn)角）	360°
	樣品尺寸		大直徑：φ200 mm, 大高度：80 mm
顯示器*1			23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏
圖像顯示模式	全屏顯示模式		1,280×960像素顯示
	單屏顯示模式		800×600像素顯示
	雙屏顯示模式		800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
	四屏顯示模式		640×480像素顯示
	六屏顯示模式*2		640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存	保存圖像尺寸		640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件			能譜儀（EDX）
			X射線波譜儀（WDX）
			電子背散射衍射（EBSD）
			陰熒光探測(cè)器（CL)
			冷凍傳輸系統(tǒng)
			各種功能樣品臺(tái)

*1為選配項(xiàng)。

*2支持雙屏顯示。

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