日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能，可發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能大樣品倉，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
日立電鏡_鎢燈絲掃描電鏡_SU3800/SU3900掃描電子顯微鏡特點(diǎn)：
①SU3900標(biāo)配多功能大樣品倉，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察
■樣品臺(tái)可搭載大/重樣品
通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測(cè)器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
■各種自動(dòng)化功能
自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動(dòng)聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器，切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能大樣品倉，可以搭載多種配件
■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測(cè)量軟件Image pro
*選配件
日立電鏡_鎢燈絲掃描電鏡_SU3800/SU3900掃描電子顯微鏡規(guī)格：
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ITEM
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SU3800
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SU3900
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二級(jí)電子分解能
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3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
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15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
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背散射電子分解能
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4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
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倍率
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×5～×300,000（照片倍率*1）
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×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2）
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加速電壓
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0.3kV～30kV
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低真空度設(shè)定
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6～650 Pa
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圖像位移
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±50μm（WD＝10mm）
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大樣品尺寸
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200mm直徑
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300mm直徑
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樣品臺(tái)
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X
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0～100mm
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0～150mm
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Y
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0～50mm
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0～150mm
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Z
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5～65mm
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5～85mm
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R
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360°連續(xù)
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T
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－20°～+90°
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大可觀察范圍
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130mm直徑（R并用）
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200mm直徑（R并用）
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大可觀察高度
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80mm（WD=10mm）
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130mm（WD=10mm）
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電機(jī)驅(qū)動(dòng)
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5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)
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電子光學(xué)系統(tǒng)
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電子槍
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預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子槍
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物像鏡頭光圈
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4孔可動(dòng)光圈
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檢測(cè)系統(tǒng)
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二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
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EDX分析WD
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WD＝10mm（T.O.A＝35°）
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圖像顯示
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自動(dòng)光軸調(diào)整功能
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自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
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自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊）
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自動(dòng)調(diào)整光束亮度
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自動(dòng)圖像調(diào)整功能
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自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制（ABCC）
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自動(dòng)對(duì)焦控制（AFC）
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自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF）
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自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
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自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)（ABA）
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自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC）
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操作輔助功能
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電子束旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能
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配件
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■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器（UVD）、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成
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配件（外部裝置）
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能量散射X射線分析儀（EDS）、波長(zhǎng)色散X射線分析儀（WDS）、
各種外部功能臺(tái)（加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)）
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*1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
*2.指定放大倍率為509.8 mm x
286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
