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臺(tái)式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III

所屬系列:ZJYQ-GYXWEM-HITACHI

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產(chǎn)品描述

臺(tái)式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III特點(diǎn):

★節(jié)省人力成本,降低操作技術(shù)難度

▲多樣品自動(dòng)化觀察:觀察工作流程的自動(dòng)化功能(TM4000PlusIII

可以作為程序保存樣品臺(tái)移動(dòng)、倍率變更、拍照等觀察流程。程序化的觀察流程,一鍵單擊即可自動(dòng)執(zhí)行操作。

為不同類型客戶(如日常使用量較多,需進(jìn)行多樣品觀察的客戶,對(duì)觀察條件不確定的客戶等)節(jié)省人力成本,降低操作技術(shù)難度。

▲實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)顆粒分析:大電流功能 + AZtecLiveLite 顆粒分析功能

工業(yè)產(chǎn)品的清潔度分析和使用過濾膜收集顆粒并進(jìn)行自動(dòng)分析的測(cè)量顆粒較多,因此需要的分析時(shí)間較長(zhǎng)。

TM4000PlusIII配有全新的大電流模式,支持牛津儀器公司的能譜探測(cè)器,以及AZtecLiveLite顆粒分析功能包,從而可以實(shí)現(xiàn)快速的顆粒分析。

★設(shè)備管理更有規(guī)劃性

▲日常維護(hù):燈絲監(jiān)控

搭載燈絲監(jiān)測(cè)功能,可在需要更換燈絲時(shí)發(fā)出提示。

多人使用設(shè)備時(shí),可減少突然燈絲燒斷導(dǎo)致更換燈絲的擔(dān)憂,從而可以更合理的規(guī)劃使用設(shè)備。

▲自動(dòng)檢查儀設(shè)備狀態(tài):AutoOQAuto Operational Qualification)

此功能可查看SEM狀態(tài)報(bào)告,可掌握設(shè)備狀態(tài)并共享給服務(wù)工程師。

★作為全新教學(xué)設(shè)備

▲洞察無需樣品前處理的微觀世界:低真空功能 + 高靈敏度背散射電子探測(cè)器

可以直接觀察各種樣品(如植物、礦石、食品等)的顯微圖像,

TM4000PlusIII/TM4000III的低真空功能減少了樣品前處理過程,通過高靈敏度的背散射電子探測(cè)器可快速獲取圖像。

▲作為Python編程教學(xué)演示設(shè)備:觀察工作流程的自動(dòng)化功能(TM4000PlusIII

培養(yǎng)并保障數(shù)字化人才是全球重要的課題之一。

TM4000PlusIII的自動(dòng)化功能中融入了“順序語(yǔ)句”“循環(huán)語(yǔ)句”“條件語(yǔ)句”等編程中重要的概念,通過TM4000PlusIII操作可以體驗(yàn)學(xué)習(xí)編程。

臺(tái)式掃描電鏡TM4000PlusIII/TM4000III規(guī)格:

項(xiàng)目

TM4000PlusIII

TM4000III

倍率

×10~×100,000(照片倍率)
×25~×250,000(顯示器倍率)

加速電壓

5 kV、10 kV、15 kV、20 kV

圖像信號(hào)

背散射電子
二次電子
復(fù)合圖像(背散射電子+二次電子)

背散射電子

真空模式

導(dǎo)電體(僅背散射電子)
標(biāo)準(zhǔn)
荷電減輕

標(biāo)準(zhǔn)
荷電減輕

樣品可移動(dòng)范圍

X40 mm Y35 mm

大樣品尺寸:

80 mm(直徑) 50 mm(厚度)

電子槍

預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子槍

檢測(cè)器

背散射電子:高感度4分割 背散電子檢測(cè)器
二次電子:高感度低真空 二次電子檢測(cè)器

背散射電子:高感度4分割 背散射電子檢測(cè)器

排氣系統(tǒng)
(真空泵)

渦輪分子泵:67 L/s1臺(tái)
隔膜泵:20 L/min

馬達(dá)臺(tái)

自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)

手動(dòng)樣品臺(tái)

尺寸與重量

主機(jī):330(寬)×614(縱深)×547(高)mm 55 kg

330(寬)×617(縱深)×547(高)mm 53 kg

隔膜泵:144(寬度)×270(縱深)×216(高度)mm

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